OLS5000 3D测量激光显微镜

作者:admin 来源: 日期:2018-3-9 13:40:38

                                         

LEXT OLS5000 3D测量激光显微镜配备的两套光学系统(彩色成像光学系统和激光共聚焦光学系统)让其能够获取彩色信息、高度信息和高分辨率图像。

 OLS5000拥有四个关键价值

1.捕捉任意表面形状

2.快速获得可靠数据

3.使用简单-只需放好样品按下按钮即可

4.测量具有挑战性的样品

技术规格

型号 OLS5000-SAF OLS5000-SMF OLS5000-LAF OLS5000-EAF OLS5000-EMF
总倍率 54x - 17,280x
视场直径 16um - 5,120um

测量原理 光学系统 反射式共聚焦激光扫描激光显微镜
反射式共焦激光扫描激光-DIC显微镜
彩色
彩色DIC
光接收元件

激光:光电倍增管(2ch)
彩色:CMOS彩色相机

高度测量 显示分辨率 0.5nm
Linear scale 0.78nm
动态范围 16 bits
重复性*1 *2 *6 10x : 0.1μm, 20x : 0.03μm, 50x : 0.012μm, 100x : 0.012μm
准确性*1 *3 *6 0.15 + L/100μm (L: Measuring length[μm])
拼接图像准确度
 *1 *4 *6
10x : 5.0+L/100μm, 20x or higher : 1.0+L/100μm (L: Stitching height[μm])
测量噪声*1 *5 *6 1nm [Typ]
宽度测量 显示分辨率 1nm
重复性 *1 *6 10x : 0.2μm, 20x:0.05μm, 50x : 0.04μm, 100x : 0.02μm
准确度*1 *3 *6 测量值 +/- 1.5%
拼接图像准确度



*1 *3 *6
10x : 24+0.5L μm, 20X 15+0.5L μm, 50X 9+0.5L μm, 100X 7+0.5L μm (L: Stitching length[mm])
单次测量时测量点的最大数量 4096 x 4096 pixel
测量点的最大数量 36 Mpixel
XY 载物台配置 长度测量模块
工作范围 100 x 100mm Motorized 100 x 100mm Manual 300 x 300 mm Motorized 100 x 100mm Motorized 100 x 100mm Manual
最大样品高度 100mm 40mm 37mm 210mm 150mm
激光光源 波长 405nm
最大输出 0.95 mW
激光分类 2类 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014)
彩色光源 白光 LED
电气功率 240 W 240 W 278 W 240 W 240 W
质量 显微镜主体 约31 kg  32 kg 约 50 kg 43 kg  44 kg
控制箱 12 kg

*1 在 ISO554(1976), JIS Z-8703(1983)规定的恒温恒湿环境下使用时提供保证 (温度: 20˚C±1˚C, 湿度: 50%±1%) 。

*2 在使用 MPLAPON LEXT系列物镜测量时. 
*3 在使用专用LEXT物镜测量时. 
*4 在使用20X或更高倍率专用LEXT物镜测量时. 
*5.在使用MPLAPON100XLEXT物镜测量时的典型值

*6.基于奥林巴斯认证体系保证

物镜

系列 型号 数值孔径(NA) 工作距离(WD)(毫米)
UIS2 物镜 MPLFLN2.5x 0.08 10.7
MPLFLN5x 0.15 20
LEXT 专用物镜 (10X) MPLFLN10xLEXT 0.3 10.4
LEXT 专用物镜(高性能型) MPLAPON20xLEXT 0.6 1
MPLAPON50xLEXT 0.95 0.35
MPLAPON100xLEXT 0.95 0.35
LEXT 专用物镜(长工作距离型) LMPLFLN20xLEXT 0.45 6.5
LMPLFLN50xLEXT 0.6 5
LMPLFLN100xLEXT 0.8 3.4
超长工作距离物镜 SLMPLN20x 0.25 25
SLMPLN50x 0.35 18
SLMPLN100x 0.6 7.6
适用于LCD样品的长工作距离物镜 LCPLFLN20xLCD 0.45 8.3-7.4
LCPLFLN50xLCD 0.7 3.0-2.2
LCPLFLN100xLCD 0.85 1.2-0.9

4K 扫描技术

4K Scan Technology

4K扫描技术可在X轴方向扫描4096像素,是传统机型的四倍。由此提高了高度测量的可靠性,改善了分辨率,信噪比提升了两倍。OLS5000显微镜无需图像处理就能检测几乎垂直的陡峭斜面和极低的台阶

智能判定功能

Capturing the true shape

由于传统激光显微镜采用图像平滑处理的方式来消除噪声,有时会将测得的正确的细微高度不规则数据连同噪声仪器消除。OLS5000显微镜采用奥林巴斯自动检测可靠数据的智能判定算法,可在不丢失细微高度不规则数据的情况下实现精确测量。

其他高分辨率测量技术

  • PEAK 算法
  • 双共焦系统
  • Sq噪声(测量噪声)保证
  • 准确性和重复性保证
  • 混合匹配算法
  • 混合式减振机构
  • HDR 观察






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