AL120-12晶圆搬送机

作者:admin 来源:原创 日期:2014-10-22 13:38:48

AL120-12晶圆搬送机

  AL120-12晶圆搬送机对应可使用FOUP(装载口)和FOSB,适用于低成本的后期检查。安全且符合人体工程学的设计确保了操作人员在搬送晶圆时(包括薄晶圆和变形晶圆)的效率和安全

 

自动300 mm晶圆搬送机 AL120-12 规格 

AL120-LMB12-LP 

AL120-LMB12-F 

晶圆尺寸 

300 mmSEMI M1.15 t775 μm)可选:200 mm 

卡盒 

●FOUPFront Opening Unified Pods)前开门标准夹 
●SEMI
E47.1-0200规格产品 
●FIMS-FOSB, FOSB 

●FOSBFront Opening Shipping Box)前开门搬运盒 
●SEMI
M31-0999规格产品 

卡盒数 

单盒(装载、卸载兼用) 

卡盒设置高度 

900 mm 

装载端口 

 

 

搬运顺序 

表面宏、内面宏、显微镜检查 

检查模式 

全部检查、抽样检查 

晶圆校准 

非接触式中心环 

晶圆搬运方式 

真空吸附机械搬运 

适用显微镜 

半导体检查显微镜MX61L 

应用环境 

AC100120 V220240 V3.0/1.7 A50/60 Hz 
真空-67-80 Kpa 

载物台 

XY手动吸附载物台,有XY粗调/微调和360度旋转机构 

重量(不包括显微镜) 

360 kg 

270 kg 

  

主要特性:

人机工程学设计,操作方便

· 可以自由设置的检查模式,在设计上考虑了后道工程中的操作性,尤为重视设备的操作简便性。

· 分别对应FOUP(Load Port)和FOSB的两种机型。

坚固、可靠和安全传送

· 延续了上一代机型的坚固性、可靠性和安全性,能够安全可靠的传送300 mm晶圆。

· 薄片,Warped晶圆皆能安全搬送。

· 宏观观察位置的最优化和操作单元的集中排列,提高了设备的操作舒适性。

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