AL120晶圆搬送机

作者:admin 来源:原创 日期:2014-10-22 13:30:48

AL120晶圆搬送机

 AL120晶圆搬送机可对应200mm以下晶圆尺寸的硅、化合物晶圆,可以安全高效搬送薄片晶圆,非常适合于前道到后道工程的晶圆检查。

    特点

适应范围广、搭配灵活

高度实用性

高度可靠性

·         精密的灵活性

传输各种尺寸的硅片
基于硅片的尺寸,AL120系列有3种基本机型,单200mm(AL120-L8)、150mm和200mm兼容(AL120-L86)、单150mm或以下尺寸(AL120-L6)。每一款都是为了传输硅片已经进行显微镜检查而设计。正面宏观和背面宏观检查均可适用与各种尺寸的硅片。

可以传输超薄的硅片,最薄到90um
为了应对更具有挑战性的超薄硅片,奥林巴斯特殊设计了传输手臂,可以应对25片装的200mm的片盒以及最薄到90um的硅片,并完成安全传输和显微镜检查。可通过面板最多可预设10种不同厚度的硅片信息。

精密的能力

增强宏观检查的功能
最新款的具备宏观检查功能的机台(LMB型)具有360度自动旋转而完成硅片的全面宏观检查。这一设计可以方便的发现硅片正反面上的缺陷和颗粒。另外,可以通过使用摇杆将硅片倾斜30度进行宏观检查。






LCD显示屏提供精度和操作方便性
LCD显示屏提供给操作者更直观的视觉感受,使得检查项目和次序一清二楚,以及安装调试所需要设置的参数也一目了然。检查结果、包括操作者输入的宏观和微观的缺陷记号一并可以显示在LCD显示屏上,方便操作者的回顾。







精密的可靠性

对于硅片的安全性
AL120采用最新的两种硅片检测方式:硅片的厚度以及在片盒中的位置。传输前先扫描硅片在片盒中的位置。选购的载物台自动锁死功能提高了硅片传输到真空载物台的安全性。
强大和可靠的显微镜
奥林巴斯半导体检查显微镜MX61通过不同的观察方式:明场、暗场、微分干涉、红外和深紫外,都可以呈现出高清晰度和高解析的图像。配备电动物镜转盘,与显微镜主机的孔径光澜具有联动功能,每一次物镜的切换,孔径光澜也会自动变换。
SEMI S2/S8 和RoHS 标准
AL120设计不单只重视传输中的硅片的安全,也保证操作者的安全,完全符合SEMI的S2和S8标准,同时也满足了Rohs标准。
规格表:

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