MX61/MX61L半导体FPD/wafer检查显微镜

作者:admin 来源:原创 日期:2014-10-22 13:27:53

MX61/MX61L半导体FPD/wafer检查显微镜

MX61/MX61L半导体FPD/wafer检查显微镜通过各种观察方法--明视场法、暗视场法、微分干涉法(DIC)、荧光法、红外线法和深紫外线法,保证了卓越的图像分辨率和鲜明度。

 

· 考虑了检查效率的设计

 

· 鲜明图像和卓越的分辨率为特点的光学系

 

· 软件方案

 

· 支持缺陷检测的多种功能

 

· 帮助实现多种观察的附件

半导体FPD /wafer检查显微镜规格

MX61L 

MX61 

光学系统 

UIS2光学系统(无限远校正) 

机身 

观察方法 

明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光 

反射/透射 

反射/透射 

照明装置 

机身一体型(明视场,暗视场+1选件) 

照明系统 

反射照明 

100 W卤素/100 W水银/75 W氙 

透射照明 

纤维光导 

对焦单元 

电动/手动 

手动 

行程 

32 mm 

分辨率/微调灵敏度 

微调旋钮转动1周移动0.1 mm 

最大样本高度 

30 mm 

物镜转换器 

电动型 

明视场微分干涉6孔 

明暗视场微分干涉5孔 

明暗视场微分干涉6孔 

明暗视场微分干涉中心输出5孔 

手动式 

载物台 

行程 

14×12英寸右下手柄: 
356(X)×305(Y)mm 
(透射照明范围356×284 mm) 

8×8 英寸右下手柄: 
210(X)×210(Y)mm 
(透射照明范围189×189 mm) 
6×6 英寸右下手柄: 
158(X)×158(Y)mm 

观察筒 

广角视场 
(视场数22) 

倒置 

双目/三目观察筒 

正像 

三目观察筒 

超宽视场 
(视场数26.5) 

倒置 

三目观察筒 

正像 

倾斜三目观察筒 

附件单元 

DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载 

外形尺寸 

710(W)×843(D)×507(H)mm 
(标准组合) 

509(W)×843(D)×507(H)mm 
(标准组合) 

重量 

51 kg(标准组合) 

40 kg(标准组合)

Copyright OLYMPUS CORPORATION, 金相显微镜版权所有京东母婴店 魁北克拒签 防暴铁马 一点点加盟 杭州LED大屏租赁 广州画册设计

杭州全谱实验室设备有限公司www.olympus-zj.com 浙ICP备13034799号 网站地图